Four de diffusion horizontale

Les fours de diffusion horizontaux sont utilisés pour le dopage et l’oxydation thermique sur plusieurs wafers simultanément. Ils offrent une grande capacité de traitement en lots, réduisant les coûts de production. Bien qu’ils soient moins utilisés pour les nœuds les plus avancés, ils restent courants pour la production mature. Ils sont idéals pour les applications nécessitant une homogénéité et une grande stabilité.