Fenêtres optiques et capteurs d’endpoint
• Détection en temps réel
• Réduction défauts de sur-gravure
• Haute précision de contrôle
• Amélioration du rendement
• Compatibles RIE/ICP
Applications:
Gravure plasma anisotrope, DRIE, procédés MEMS et CMOS.
Description Solution:
Les fenêtres optiques et capteurs d’endpoint sont utilisés pour surveiller en temps réel la gravure plasma. Ils permettent de détecter la fin de gravure par analyse spectroscopique. Ces consommables améliorent la précision et réduisent les risques de sur-gravure. Ils contribuent à optimiser le rendement et la qualité des dispositifs produits.
Spécifications:
Matériaux : quartz, saphir ; Méthode : spectroscopie optique ; Durée de vie : 500–800 heures plasma.