Pièces de chambre d’implantation (écrans, liners, électrodes)
• Protection de la chambre
• Reproductibilité du procédé
• Matériaux résistants (graphite, SiC, quartz)
• Maintenance facilitée
• Réduction contamination
Applications:
Systèmes d’implantation ionique pour semi-conducteurs avancés.
Description Solution:
Les pièces de chambre d’implantation incluent les écrans, liners et électrodes utilisés dans les systèmes d’implantation ionique. Elles protègent les parois de la chambre et assurent une implantation reproductible. Fabriquées en matériaux résistants comme le graphite, le SiC ou le quartz. Elles nécessitent un remplacement régulier pour maintenir la performance du procédé.
Spécifications:
Matériaux : graphite, SiC, quartz ; Durée de vie : 500–1000 heures d’implantation.