Capsules de graphite ou SiC pour haute température
• Excellente résistance mécanique
• Haute stabilité chimique
• Faible contamination
• Longue durée de vie
• Adaptées aux environnements extrêmes
Applications:
Diffusion, nitruration, recuit à haute température.
Description Solution:
Les capsules de graphite et de carbure de silicium (SiC) sont utilisées comme contenants pour le traitement à très haute température. Elles protègent les wafers et minimisent les risques de contamination métallique. Le graphite recouvert de SiC offre une excellente stabilité mécanique et chimique. Elles sont adaptées aux procédés de diffusion, nitruration et recuits spéciaux.
Spécifications:
Matériaux : graphite recouvert SiC ; Température max : 1800 °C.