Gaz de traitement thermique (O₂, N₂, H₂, Ar)
• Pureté électronique élevée
• Contrôle précis de l’atmosphère
• Large adoption industrielle
• Compatibles procédés oxydation/diffusion
• Disponibilité mondiale
Applications:
Oxydation thermique, recuit, diffusion, RTP.
Description Solution:
Les gaz industriels de haute pureté (oxygène, azote, hydrogène, argon) sont indispensables pour les procédés thermiques. Ils permettent de contrôler l’atmosphère dans les fours et d’obtenir des couches de qualité. Leur pureté est cruciale pour éviter toute contamination du substrat. Ils sont fournis en bouteilles pressurisées ou en systèmes d’approvisionnement centralisés.
Spécifications:
Gaz : O₂, N₂, H₂, Ar ; Pureté : 99,999 % (5N) ; État : gaz comprimé.