Cassettes wafer (FOUP, SMIF, open cassette)
• Transport sécurisé des wafers
• Réduction contamination particulaire
• Compatibles automatisation (SEMI standards)
• Matériaux ESD disponibles
• Versions 100, 150, 200 et 300 mm
Applications:
Transport interne, stockage intermédiaire, intégration dans les outils.
Description Solution:
Les cassettes wafer assurent le transport et le stockage sécurisé des wafers dans les environnements de salle blanche. Disponibles en formats ouverts, SMIF ou FOUP, elles répondent aux normes SEMI pour garantir une compatibilité avec les équipements automatisés. Fabriquées en matériaux polymères ESD ou en quartz, elles réduisent les risques de contamination particulaire et chimique. Indispensables pour les fabs et centres R&D.
Spécifications:
Taille : 100–300 mm ; Matériaux : polymères ESD, quartz ; Normes : SEMI E47, E62.