Microscopie électronique à balayage (SEM)
Le SEM permet l’imagerie haute résolution de la surface des matériaux avec une précision nanométrique. Il est essentiel pour l’analyse des structures de circuits intégrés et la détection de défauts…
Équipements de métrologie et caractérisation
Microscopie à force atomique (AFM)
L’AFM offre une cartographie 3D nanométrique de la topographie de surface. Il mesure les rugosités et propriétés mécaniques ou électriques locales. C’est un outil indispensable pour la caractérisation des couches…
Profilomètre optique/interférométrique
Les profilomètres optiques permettent la mesure sans contact de la rugosité, épaisseur et topographie des surfaces. Grâce à l’interférométrie, ils offrent une résolution sub-nanométrique sur de grandes surfaces. Ils sont…
Spectroscopie ellipsométrique
L’ellipsométrie mesure l’épaisseur et les propriétés optiques de couches minces. Elle est essentielle pour contrôler les dépôts CVD, PVD et ALD. Technique non destructive, elle est utilisée à la fois…
Mesure de résistivité
La sonde à 4 pointes permet de mesurer avec précision la résistivité électrique des couches minces et substrats. Elle est utilisée pour évaluer le dopage et la conductivité des matériaux…