Les barques de quartz sont utilisées pour maintenir et transporter les wafers dans les fours de traitement thermique rapide (RTP) et d’oxydation. Elles assurent une excellente stabilité dimensionnelle et une…
Les capsules de graphite et de carbure de silicium (SiC) sont utilisées comme contenants pour le traitement à très haute température. Elles protègent les wafers et minimisent les risques de…
Les gaz industriels de haute pureté (oxygène, azote, hydrogène, argon) sont indispensables pour les procédés thermiques. Ils permettent de contrôler l’atmosphère dans les fours et d’obtenir des couches de qualité.…
Les revêtements anti-contamination à base de nitrure de bore (BN) ou de carbure de silicium (SiC) protègent les pièces de fours thermiques. Ils réduisent la contamination particulaire et prolongent la…
Les thermocouples haute précision sont utilisés pour mesurer et contrôler la température dans les procédés thermiques. Ils assurent une grande exactitude et une excellente stabilité à long terme. Disponibles en…
