Barques de quartz pour fours RTP/oxydation
• Faible contamination particulaire
• Haute résistance thermique
• Quartz ultra-pur
• Stabilité dimensionnelle
• Longue durée de vie
Applications:
Oxydation thermique, recuit, diffusion, RTP.
Description Solution:
Les barques de quartz sont utilisées pour maintenir et transporter les wafers dans les fours de traitement thermique rapide (RTP) et d’oxydation. Elles assurent une excellente stabilité dimensionnelle et une faible contamination particulaire. Conçues en quartz de haute pureté, elles résistent aux températures extrêmes et aux environnements oxydants. Elles sont essentielles pour garantir la qualité et la répétabilité des procédés.
Spécifications:
Matériau : quartz SiO₂ ; Température max : 1200–1400 °C ; Capacité : 25–50 wafers.