Conditionneurs de pad (disques diamant)
• Taux d’enlèvement stable
• Réduction de la variabilité
• Longue durée de vie
• Faible ajout de défauts
• Compatibles outils 200/300 mm
Applications:
Conditionnement pads CMP (Cu, Oxide, W).
Description Solution:
Disques diamantés pour retexturer la surface du pad et stabiliser le taux d’enlèvement. Grain et concentration optimisés pour limiter la variabilité et la génération de défauts. Conçus pour une usure uniforme et une longue durée de vie en environnement chimique. Compatibles avec les têtes multi‑zones et contrôles de pression avancés.
Spécifications:
Abrasif: diamant ; Grain équivalent: 80–200 µm ; Diamètre: 80–150 mm ; Durée de vie: 3–6 mois en HVM.