Électrodes et liners de chambre pour RIE/ICP
• Protection chambre de gravure
• Stabilité du plasma
• Matériaux résistants (Al₂O₃, SiC, quartz)
• Maintenance facilitée
• Réduction contamination particulaire
Applications:
Systèmes RIE, ICP, DRIE pour semi-conducteurs et MEMS.
Description Solution:
Les électrodes et liners de chambre sont des consommables critiques pour les systèmes de gravure plasma. Ils assurent la stabilité du plasma et la protection des parois de la chambre. Fabriqués en matériaux résistants aux plasmas fluorés et chlorés (alumine, quartz, SiC). Ils doivent être remplacés régulièrement pour garantir la reproductibilité des procédés.
Spécifications:
Matériaux : alumine, SiC, quartz ; Durée de vie : 500–1000 heures plasma.