Microscopie électronique à balayage (SEM)
• Résolution nanométrique
• Imagerie 2D/3D de surface
• Détection des défauts critiques
• Analyse chimique intégrée
• Polyvalence pour divers matériaux
Applications:
Analyse de défauts, contrôle procédé, R&D matériaux, nanostructures.
Description Solution:
Le SEM permet l’imagerie haute résolution de la surface des matériaux avec une précision nanométrique. Il est essentiel pour l’analyse des structures de circuits intégrés et la détection de défauts critiques. Grâce à ses modes analytiques (EDS, WDS), il fournit également des informations chimiques locales. C’est un outil incontournable dans les fabs de semi-conducteurs et les laboratoires R&D.
Spécifications:
Résolution: 1–2 nm
Accélération: 0,5–30 kV
Wafers: jusqu’à 300 mm
Détecteurs: SE, BSE, EDS.