Pellicules de protection de masques (Pellicles)
• Protection contre la contamination
• Maintien qualité des masques
• Haute transmission optique
• Compatibles UV, DUV et EUV
• Réduction des coûts liés aux défauts
Applications:
Photolithographie avancée, DUV, EUV.
Description Solution:
Les pellicules protègent la surface des masques de la contamination particulaire. Elles sont constituées de membranes transparentes tendues sur un cadre. Elles permettent d’éviter les défauts critiques lors de l’exposition. Essentielles pour prolonger la durée de vie et la qualité des masques coûteux.
Spécifications:
Transmission : >90 % ; Longueur d’onde : 193–365 nm ; Taille : adaptée aux masques 6 pouces.