Profilomètre optique/interférométrique
• Mesure sans contact
• Haute résolution verticale
• Vitesse élevée
• Adapté à la production inline
• Compatible surfaces fragiles
Applications:
Contrôle qualité, semi-conducteurs, optoélectronique, MEMS.
Description Solution:
Les profilomètres optiques permettent la mesure sans contact de la rugosité, épaisseur et topographie des surfaces. Grâce à l’interférométrie, ils offrent une résolution sub-nanométrique sur de grandes surfaces. Ils sont rapides et adaptés au contrôle en production. Outils de choix pour la métrologie inline et le contrôle qualité.
Spécifications:
Résolution verticale: <1 nm
Surface: jusqu’à plusieurs mm²
Vitesse: <1 s/scan.