Stations et racks de stockage wafers
• Stockage stable et sécurisé
• Réduction contamination croisée
• Compatibles normes SEMI
• Versions fixes et mobiles
• Matériaux adaptés cleanroom
Applications:
Stockage intermédiaire, transfert en salle blanche.
Description Solution:
Les racks et stations de stockage permettent de maintenir les cassettes ou FOUP en position stable et sécurisée. Conçus en inox, aluminium anodisé ou polymères cleanroom, ils réduisent les risques de contamination croisée. Disponibles en versions fixes ou mobiles, ils facilitent la logistique dans les fabs. Compatibles avec les cassettes 100–300 mm.
Spécifications:
Capacité : 1–10 cassettes ; Matériaux : inox, alu anodisé, polymères ; Classe ISO : 3–6.